NAME(Импульсный отжиг слоистых микроэлектронных структур)

DIRECTION(6)

CHIEF(256)

BEGIN
    Целью работы является разработка методов управления структурой и
свойствами слоистых микроэлектронных систем с применением ионных пучков,
импульсных оптических обработок. Научно-техническая и практическая ценность
ожидаемых результатов. Модельные представления о структурных изменениях в 
диэлектрических пленках при внедрении больших доз ионов. Характер 
поглощающих микронеоднородностей в диэлектриках при лазерном отжиге. 
    Методы управления характеристиками диэлектрических пленок с помощью
ионных пучков и лазерного отжига.
END